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型号:AMFC / AMFM

AMF 质量流量控制器

紧凑型高性能流量控制领域的新标杆

AMF 系列(Advanced Mass Flow)是一款超紧凑型数字质量流量控制器,专为在空间受限的系统中实现精确的气体流量控制而设计。该产品专为生物加工、薄膜制造及先进工业应用而开发,在超小体积内集成了高性能、多气体兼容性和先进的诊断功能。

Features & Benefits
  • 出色的低流量稳定性,±0.6%的准确度,±0.25%的重复性: AMF 专为低流量应用优化,可提供稳定、可重复的气体输送,支持那些需要严格控制和极小波动的敏感工艺。
  • 卓越的传感器稳定性: 传感器具有长期稳定性,可最大限度地减少漂移,从而减少频繁重新校准的需要,并有助于保持稳定的工艺性能。
  • 超低泄漏率与卓越的阀门关闭性能,泄漏量< 0.005 sccm: 先进的阀门技术可最大限度地减少泄漏,并确保可靠的关闭性能,从而有助于维持系统纯度、提高产率并降低气体消耗。
  • 宽广的控制范围: 高达 1000:1 的调节比使单个质量流量控制器能够在从低流量到高流量的各种工况下提供精准、稳定的性能,从而减少了使用多台设备的必要性。
  • 高级诊断与警报: 内置诊断功能和可配置的警报可实时监控设备性能,从而在潜在问题影响生产流程之前及时发现并解决。
  • 嵌入式网页界面与以太网连接:Ethernet/IP™ 通信和集成的基于 Web 的界面,使得配置、监控以及与现代控制系统的集成变得轻松便捷。
应用
  • 生物加工与台式生物反应器
  • 薄膜与先进涂层
  • 光纤制造
  • 气体混合与分析系统

 

介质类型 Gas
流量测量原理 Thermal (TMF)
流量范围 Up to 27 slpm, 27,000 sccm
精度范围 ±0.6% of S.P. (20 - 100% F.S.), ±0.12% F.S. (<20% F.S.)
重复性 ±0.25% of S.P.
最大压力 150 psi
工作温度 0 - 65°C
测量/控制 Measure & Control (Controller)
密封选项 Elastomer
最高温度 65 celsius
连接方式 EtherNet/IP
文件名
文件类型
按语言分类的文档
数据表 - AMF 系列
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安装与操作手册 - AMF 系列
PDF
EtherNet/IP 补充手册 - AMF 系列
PDF
嵌入式基于 Web 的界面补充手册 - AMF 系列
PDF

请参考以下指南(型号代码信息来自数据表),以转换下方提供的 CAD 配置。如果您需要帮助或找不到所需内容,请联系应用工程部或您当地的 Brooks Instrument 代表。

示例: AMF-C-7-S-1B-A

型号
机身尺寸 通信 I/O 附件 机械连接 修订版本
AMF C 7 (EtherNet/IP™) S (标准 IP40) 1B (1/4" 管材压缩) A