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型号:BVT100 / BVT125

VersaTorr BVT100 真空表

超宽量程真空测量

VersaTorr BVT100 系列真空计性能出类拔萃,通过将热导式真空计的可用测量范围扩展了 1 到 3 个数量级,树立了新的行业标准。

VersaTorr BVT100 系列真空计的设计基于尖端的 MEMS(微机电系统)传感器技术,融合了创新的精密数字信号处理架构和先进的创新测量算法。结合精密的自动化制造和校准流程,这些要素的有机结合造就了一款能够提供卓越测量性能的独特产品。

通过集成一款MEMS膜片传感器,热导率计在粗真空范围内长期存在的气体依赖性问题已得到解决,该传感器的精度表现可与价格更高的电容式真空计相媲美。这一特性确保了对真空系统排气过程的更精确控制,并能防止真空系统出现过压现象。

特点与优势
  • 该系列提供两种型号:BVT100的测量范围为大气压至7.5 × 10-7 ;而BVT125则配备了大气压开关。
  • 这些真空表通过最大限度地减少对多个真空表和独立大气压开关的需求,简化了系统设计,节省了空间和成本。
  • 9个数量级的超宽测量范围
  • 先进的数字信号处理技术提供了无与伦比的性价比
  • 2 至 1333 mbar 范围内的独立于气体的隔膜传感器
  • 通过 Brooks 真空传感器通信器 USB 编程器轻松配置
  • 超稳定零点漂移补偿
  • 用于过程控制的可选固态设定点继电器
应用
  • 载物锁
  • 转移室
  • 前线
  • 真空粗加工生产线
  • 薄膜加工
压力范围 8e-7 to 1000 Torr
精度 7.5x10-5 to 7.49x10-3 Torr: ±5%, 7.5x10-3 to 7.49 Torr: ±0.5%, 7.50 to 7.49 Torr: ±0.5%, 75 Torr to 1000 Torr: ≤±0.5%
连接方式 Analog (0–10 V), RS232, RS485
设备温度 Ambient - 50°C
测量原理 Piezo
文件名
文件类型
按语言分类的文档
数据表 - BVT100 系列
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数据表 - BVT125 系列
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安装手册 - BVT100 系列
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安装手册 - BVT125 系列
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请参考以下指南(型号代码信息来自数据表),将下方的CAD配置进行转换。如果您需要帮助或找不到所需内容,请联系我们。

型号 安装 电气连接
BVT100 DN16KF 15针D型插头