型号：BVT200 / BVT225 / BVT275
VersaTorr BVT200 传感器
具有大气压切换功能的超宽量程皮拉尼/电容/压电传感器。
VersaTorr BVT200/225 系列皮拉尼传感器树立了新的行业标准。这是一款适用于多种真空应用的全能型宽量程测量解决方案。它与其他真空计的区别在于，不仅能以极具成本效益的方式实现 5.0E-3 至 1333 mbar 的气体独立测量，还能利用热损耗原理将测量范围延伸至 1E-6 mbar。
在气体成分或类型可能发生变化的真空应用中，传统的依赖气体特性的皮拉尼真空计会导致测量值与实际压力出现偏差。Tri-Sensor 传感器采用精密电容式隔膜真空计（CDG）传感器，消除了对气体特性的依赖，即使气体性质发生变化，也能提供准确的测量结果。
这款集成的热散失型MEMS皮拉尼传感器将测量范围扩展至1E-6毫巴，并为电容式压力计提供了创新的自动归零功能，从而消除了传统电容式膜片压力计通常需要手动归零的必要性。
特点与优势
- 9个数量级的超宽测量范围
- 电容式隔膜在低真空范围内将精度提升至0.5%
- 60年来，实现5E-3至1333毫巴范围内的气体独立测量
- 电容式压力计的自动归零
- 用于诊断的真空温度传感器
应用
- 载物锁
- 转移室
- 前线
- 真空粗加工生产线
- 薄膜加工
| 压力范围 | 8e-7 to 1000 Torr |
|---|---|
| 精度 | 7.5x10-5 to 7.49x10-3 Torr: ±5%, 7.5x10-3 to 7.49 Torr: ±0.5%, 7.50 to 7.49 Torr: ±0.5%, 75 Torr to 1000 Torr: ≤±0.5% |
| 连接方式 | Analog (0–10 V), RS232, RS485 |
| 设备温度 | Ambient - 50°C |
| 测量原理 | Piezo, Capacitance Diaphragm Gauge |
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| 型号 | 安装 | 电气连接 |
| BVT200 | DN16KF | 15针D型插头 |
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