MultiFlo™ 配置工具
重要通知:MultiFlo Configurator 支持更新
MultiFlo™ Configurator 软件仍可供下载,但 Brooks Instrument 不再提供支持。由于该应用程序所依赖的若干库文件已无法获取,Brooks Instrument 无法再提供技术支持、软件更新或后续功能增强。
请注意,某些 Windows 11 安全更新可能会导致该软件无法正常运行。如果您遇到兼容性问题,建议升级到 Brooks Expert Support Tool (BEST);该工具不仅提供相同的核心功能,还包含持续的技术支持、兼容性更新以及未来的功能增强。
了解更多关于 Brooks Expert Support Tool (BEST) 的信息
MultiFlo™ Configurator 是一款经典的 Windows™ 应用程序,为用户提供了一种快速、简便的方法,无需将 GF100 系列、GF40 系列、GF80 系列及 Celerity/Unit 品牌质量流量控制器从气路管线上拆下,即可重新设定其气体类型和量程。MultiFlo™ 技术由 Brooks Instrument 拥有专利,为工艺工程师提供了一项独特的资源:一个基于数千次原始气体测试运行构建的综合气体数据库,该数据库建立了能够考量气体间热学及物理特性差异的校正函数。
我们易于使用的 MultiFlo™ 配置器应用程序拥有市场上最全面的气体数据库,可提高工艺气体的准确性,使您能够在最广泛的应用中使用我们支持 MultiFlo™ 的 MFC。
如果您是 MultiFlo™ 和 FloCom 数据库的新用户,请下载各软件包的最新版本。如果您的 MFC 上已经安装了旧版本的 MultiFlo™ 软件或 FloCom 数据库,则必须首先卸载,然后安装最新版本的 MultiFlo™ 配置器和/或 FloCom 数据库。
请注意,每一个新版本的 MultiFlo™ 配置器和 FloCom 数据库都有可能对 GF100 系列和 Celerity/Unit 品牌设备产生精确复制的影响。如果贵公司遵循精确复制程序,建议继续使用当前已批准的版本,直至这些更改获得批准。请不要更新数据库软件,除非您更新到最新版本的 MultiFlo™ 配置器。
驱动程序
大多数情况下,安装 MultiFlo 配置程序时会自动安装驱动程序。如果遇到这种情况,请在下面下载正确的驱动程序。
如果您对 MultiFlo™ 配置器和/或 FloCom 数据库有任何疑问,请联系技术服务部门或当地的布鲁克斯仪器公司代表寻求帮助。
文档
版本
Version
Description
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Version
MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db260608
Description
- 已将以下气体/混合物添加到数据库中:SEMI气体代码 86、221、244、277、5031、1086、1087、1103、1104、1107
- 已为以下气体/混合物添加了 GF40 分级表(40-48、50-54)和 GF100 系列分级表(40-54):SEMI 气体代码 86、221、244、1086、1087、1103、1104、1107、5031
- 已为以下气体/混合物添加了 GF40 分类表(50-54)和 GF100 系列分类表(49-54):SEMI 气体代码 89、980
- 已为以下气体/混合物添加了 GF40 SA 分类表(41-48、50-54)和 GF100 系列 SH 分类表(41-54):SEMI 气体代码 277
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Version
MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db250910
Description
- 数据库中新增了以下气体/混合物:SEMI 气体代码 14、65、68、70、91、159、231、260、321、350、384、427、5030、651、657、1061、1071、1081、1082、1083、1084、1085
- 为以下气体/混合物添加了 GF40 和 GF100 系列 SA/SH Bin 表 (40-54):SEMI 气体代码 65、68、159、260、321、350、384、427、651、657、1061、1071、1081、1082、1083、1084、1085、5030
- 为以下气体/混合物添加了 GF40 和 GF100 系列 SA/SH Bin 表 (41-48):SEMI 气体代码 91
- 为以下气体/混合物添加了 GF40 和 GF100 系列高流量 SA/SH 储气筒 (50-54):SEMI 气体代码 14
- 在以下气体/混合物中添加了 GF40 和 GF100 系列大流量 SA/SH 罐 (51-54):SEMI 气体代码 70
- 为以下气体/混合物添加了 GF40 SA 罐表 (41-54) 和 GF100 系列 SH 罐表 (41-48):SEMI 气体代码 231
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Version
MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db220418
Description
- 数据库中新增了以下气体/混合物:SEMI 气体代码 124、193、205、265、304、323、328、376、401、403、404、558、588、623、631、687、1058、5021、5024、5027
- 为以下气体/混合物添加了 GF40 和 GF100 系列 SA/SH Bin 表 (40-49):SEMI 气体代码 205、265、304、403、558、588、623、631、687、1058、5021
- 为以下气体/混合物添加了 GF40 和 GF100 系列 SA/SH Bin 表 (41-49):SEMI 气体代码 124、323、328、376、401、404、5024、5027
- 为以下气体/混合物添加了 GF100 系列大流量 SA/SH 箱 (50-54):SEMI 气体代码 124、193、205、265、297、304、323、328、376、401、403、404、542、558、588、623、631、687、963、1058、5021、5024、5027
- 为以下气体/混合物添加了 GF100 系列 SH Bin 表格 (48-54):SEMI 气体代码 147
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Version
MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db190701
Description
- 数据库中新增了以下气体/混合物:SEMI 气体代码 267、1053、1054、1055
- 为以下气体/混合物添加了 GF40 和 GF100 系列 SA/SH Bin 表格 (40-54):SEMI 气体代码 251、267、1053、1054、1055
- 为以下气体/混合物添加了 GF100 系列大流量 SA/SH 储气筒 (49-54):SEMI 气体代码 22、23、589
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Version
MultiFlo™ 配置器 V5.34
Description
- 可设置大于 128 的 Mac ID,并通过 MultiFlo™ 与 Mac ID 高达 239 的设备连接
- 可访问 PC115/PC125 的 DNET 设置,并修复 1.5L 与 2L 设备的标签打印问题
- 提供更多生产商和消费者选项,并为 DNET 配置选项增加了数据单位和数据类型
- 能够配置 SH51-SH54 箱的设备
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Version
MultiFlo™ 配置器 V5.32
Description
- 气体详细信息页面新增 "气体型号 "和 "FloCom+ 版本 "栏
- GF135 不可配置设备现在能够在创建页面后设置页面方向
- 固件 1.28 已更新,如果选择 dncIdleEventEnable,则设置为启用
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Version
用于 GF100 EtherCAT MFC 的 MultiFlo™ 配置驱动程序
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Version
用于使用 USB 2.5 毫米电缆的设备的 MultiFlo™ 配置器驱动程序
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